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本文標(biāo)題:"高精度細微的零件/元件等測量工具顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-8-4 10:8:51

高精度細微的零件/元件等測量工具顯微鏡

白光點光源搭配顯微PFP量測系統(tǒng)對微小物件之研究。顯微PFP量測系統(tǒng)采用非接觸式表面形貌量測,
具有高精確度及對環(huán)境的適應(yīng)高等優(yōu)點。系統(tǒng)光源由超短脈沖雷射,經(jīng)聚光透鏡把激光束聚焦至光子晶體光纖里,
當(dāng)超短脈沖雷射在光子晶體光纖里傳導(dǎo)時,會進行數(shù)個非線性光學(xué),
所以最后在光子晶體光纖的出口端會形成非常完美的白光點光源。此光源具有下列優(yōu)點:

(1) 對投影系統(tǒng)而言,其景深可視為無限長。
(2) 不具有雷射光斑的缺點,不會影響到顯微PFP系統(tǒng)量測的準(zhǔn)確度。
由實驗可得到,以白光點光源作為顯微PFP量測系統(tǒng)之照明裝置,比其他照明設(shè)備具有更大的縱深量測范圍,
在相同操作條件底下,其增加的量測范圍約為1.5倍其他光源(雷射與鹵素光源)之范圍。
未來的研究方向,將利用此系統(tǒng)致力于半導(dǎo)體元件、微機電裝置與生醫(yī)科技(如生物細胞)之形貌量測


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tags:金相分析,技術(shù),實驗,金相顯微鏡,上海精密儀器,

高精度細微的零件/元件等測量工具顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)


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