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本文標題："晶圓切削泥材料的主要成分簡介-材料檢測顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-22 5:41:41

晶圓切削泥材料的主要成分簡介-材料檢測顯微鏡

矽晶圓為多晶矽材料的下游，為矽晶太陽能電池的上游，

制程上矽晶圓切削矽泥主要回收產物包括廢有機溶劑、碳化矽與矽2 項，

矽泥之組成主要成分為有機溶劑、碳化矽(SiC)、矽(Si) 與微量的鐵等組成，

一般回收業者先行回收DEG 或PEG( 二乙二醇或聚乙二醇等溶劑) 之后，

利用旋轉式真空離心、過濾等方式，以物理分選程序，利用矽與碳化矽之粒徑大小不同，

采連續式真空高速離心(Decander) 分離固液二項，固相回收大顆粒的碳化矽固體料，

液相則為剩馀小顆粒，成份為矽、少量碳化矽以及鐵等金屬之混合物，在經濾網壓濾后乾燥，

制成不同等級的煉鋼用脫氧劑產品販售。固相碳化矽之純度需達98.5% 以上冶煉等級，

利用多次酸堿反應，調整反應槽的pH 值與經多次水洗壓濾及乾燥程序，提昇碳化矽回收物之A 級品純度高于98.5%，

不但解決業者目前僅能回收廢有機溶劑技術瓶頸，

也可回收與販售不同等級矽與碳化矽再生產物( 二次料)，

也能大幅降低太陽能矽晶圓產業對于碳化矽原料( 一次料) 依賴，減低碳化矽原料高耗能提煉對于環境衝擊。

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