本文標(biāo)題："電鏡的分辨率和放大倍率試樣分析便攜顯微鏡"
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電鏡的分辨率和放大倍率試樣分析便攜顯微鏡
以調(diào)制顯相管的亮度，由于顯相
管中的電子束與鏡簡中的電子束是同步掃描的，顯相管亮度是
由試樣激發(fā)出來的電子信息強(qiáng)度調(diào)制的，因此在試樣表面上任
一點(diǎn)所收集的信息強(qiáng)度與顯相管屏上相應(yīng)點(diǎn)的亮度之間是一一
對應(yīng)的，由此，試樣狀態(tài)不同，相應(yīng)的亮度也不同，可見得到
的象一定是試樣狀態(tài)的反映。設(shè)置試樣旁的波譜儀和能譜儀，
是用來收集特征X射線以實(shí)現(xiàn)試樣微區(qū)成份的定性及定量分析。
逐點(diǎn)記錄的，因此，試樣各點(diǎn)所激發(fā)出來的各種信息都可選錄
出來，并同時在顯相管上或X—Y記錄儀上顯示記錄下來，給試
樣的綜合分析帶來極大的方便。
掃描電鏡的分辨率和放大倍率
掃描電鏡的分辨率有兩種意義，對微區(qū)成份分析而言，它
是指能分析的最小區(qū)域。對成象而言，它是指能分辨兩點(diǎn)間最
小的距離，這兩者主要決定于入射電子束直徑，但并不直接等
于直徑，因?yàn)槿肷潆娮邮c試樣相互作用，會使入射電子束在
試樣內(nèi)的有效激發(fā)范圍大大超過入射電子束的直徑，從前圖
2—29可知，入射電子束在透過試樣被散射或吸收之前，將在試
樣表面下層范圍內(nèi)運(yùn)動，并激發(fā)出各種信息，這些信息的能量，
穿透能力都各不相同。只有在一定深度，一定能量的電子才能
逸出表面，才會被檢測到，例如二次電子在入射電子束轟擊
下，只有表層下5—50埃厚度范圍內(nèi)的二次電子才能逸出表
面。在這樣深度范圍內(nèi)，電子基本上還是按入射方向前進(jìn)的，
所以二次電子發(fā)射的廣度與入射電子束直徑相差無幾，故分辨
率高。一般用于觀察表面微形貌和微細(xì)結(jié)構(gòu)以及斷口面
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