本文標題："表面微機械傳感器原理-實時振動分析元件"
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表面微機械傳感器原理-實時振動分析元件
實時振動分析儀，只需要商品化低成本的元件，所以比較便宜。新
型微機械加速度計大幅減少了成本和所需的信號調理電路。這些新
型表面微機械傳感器的成本比曾經是標準的壓電狀態監測儀的成本
低。此外，典型的微機械傳感器的靈敏度將保持在工業溫度的1％
公差范圍內，從而免除了溫度補償和校準的需要?？梢暂p松安裝，
因為加速度計能夠獨立于機器本身的控制，來收集振動信號。
激光測量系統的組件
激光測量系統通常包括：
1)激光頭。
2)干涉儀及其相關反射鏡。
3)測量接收器和測量與控制電路。
某些測量不能直接將干涉儀輸入光圈對準激光頭。因此，這類系
統還將包括各種光束定向光學部件。此外，系統還可能包括環境遙
感和／或波長跟蹤，來進一步測量補償由于環境參數變化隨之而來
的激光波長的變化。激光器的激光頭用做光束和參考頻率源。光學
儀器和測量接收機使用激光束產生的測量信號。參考和測量信號與
環境傳感器信號一起測量電路產生的線位移信息。系統控制器可以
讀取和顯示此位移信息。此外，測量電路輸出實時信號表示一個目
標和實際位置之間的差。此誤差信號可使伺服電子系統直接驅動伺
服電動機。干涉儀和反射器
干涉儀和反射器是激光測量系統關鍵的光學元件。激光頭發出
光束的主要部分被傳送到干涉儀。干涉儀是一個兩極化分束器，反
射一個極化光束，傳送另一個光束。光束分路器定向使得反射光束
與通過的光束彼此成直角。
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