本文標(biāo)題："不同材料輪廓測(cè)量-不同材料對(duì)應(yīng)的光學(xué)常數(shù)"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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不同材料輪廓測(cè)量-不同材料對(duì)應(yīng)的光學(xué)常數(shù)
不同材料
只要物體的表面由單一材料構(gòu)成，由于只引人了一個(gè)全場(chǎng)同一
的變化，光譜位相就不會(huì)呈現(xiàn)出問(wèn)題。然而，當(dāng)表面并排出現(xiàn)兩種
不同的材料時(shí)，對(duì)于不同的波長(zhǎng)材料在反射時(shí)將會(huì)引入不同的相移
(除非它們都是折射率虛部k=0的介質(zhì)材料)，而且在兩種材料交接
的邊界上測(cè)量得到的高度差是錯(cuò)誤的。通過(guò)就測(cè)量中所使用的波長(zhǎng)
了解不同材料對(duì)應(yīng)的光學(xué)常數(shù)，可能校正這種差異
一般說(shuō)來(lái)，當(dāng)用干涉技術(shù)來(lái)測(cè)量薄膜或者厚膜時(shí)，不但是其厚
度，而且其頂部和底部的輪廓都能測(cè)量。薄膜干涉的光譜位相具有
一個(gè)多項(xiàng)式形式，多項(xiàng)式與所選擇膜的模型式是相匹配的，使用回
歸分析可以確定最佳匹配及薄膜的厚度。
為了得到更高的精度，需要知道系統(tǒng)色散引起的光譜相位，并
將其去扣除。可以利用計(jì)算大小來(lái)替代，不是計(jì)算光譜位相和確定
最佳匹配模擬光譜位相，而是可以利用計(jì)算幅度，并且這樣通過(guò)獲
得最佳匹配的模擬幅度大小來(lái)確定膜層的厚度。這些方法適用于光
學(xué)厚度從幾個(gè)微米到100nm的膜層。針對(duì)光學(xué)厚度小于100nm的膜層
，這種方法的靈敏度會(huì)明顯減小。
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