本文標(biāo)題："計(jì)算機(jī)及高精度機(jī)械加工數(shù)字全息檢測(cè)技術(shù)"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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計(jì)算機(jī)及高精度機(jī)械加工數(shù)字全息檢測(cè)技術(shù)
微機(jī)電系統(tǒng)的數(shù)字全息檢測(cè)
隨著計(jì)算機(jī)及高精度機(jī)械加工技術(shù)的進(jìn)步，微機(jī)電系統(tǒng)及微型元件
獲得廣泛應(yīng)用．為保證微系統(tǒng)的質(zhì)量，微機(jī)電元件的幾何尺寸及空間配
置精度的測(cè)量是一種關(guān)鍵技術(shù)．在該研究領(lǐng)域中，數(shù)字全息三維形貌檢
測(cè)獲得了重要應(yīng)用．
氣流傳感器的形貌，其傳感關(guān)鍵部位是硅芯片上一個(gè)寬度約lmm的
方形的隔膜．穿過(guò)隔膜和底層的氣流變化將導(dǎo)致通過(guò)隔膜周圍空間的光
束變形．應(yīng)變儀將這個(gè)變形轉(zhuǎn)化成光電信號(hào)后便能獲取氣流變化的信息
．很明顯，準(zhǔn)確知道隔膜在給定氣流狀態(tài)的形狀對(duì)控制產(chǎn)品的質(zhì)量非常
重要．
材料物性參數(shù)的檢測(cè)
對(duì)材料形變的測(cè)量測(cè)能獲取材料的許多重要物性參數(shù)，例如材料的
楊氏模量、熱膨脹系數(shù)及泊松比等．國(guó)內(nèi)外在該研究領(lǐng)域不但已經(jīng)取得
許多重要進(jìn)展，一些測(cè)量技術(shù)已經(jīng)獲得實(shí)際應(yīng)用
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