本文標題："熱電勢鍍層厚度測量技術簡介-粗糙度測量顯微鏡"
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熱電勢鍍層厚度測量技術簡介-表面粗糙度儀測量顯微鏡
熱電勢法鍍層厚度測量
熱電勢法測量覆層厚度的應用不甚普遍，但對某些覆層厚度
的測量，如鐵基體上鎳鍍層、化學鍍鎳層，則是一種很有效的方
法，且在非磁性導電基體上非磁性導電覆層的厚度測量上也有一
定的應用。
通常熱電勢法測量覆層厚度的范圍是從幾微米到二三十微
米。
在熱電勢法測量中，電極和被測量點間的熱電勢與被測表面
狀態、粗糙度以及電極的壓緊程度有關，而被測件的化學成分和
結構也有影響，因而給測量帶來一定的困難．
基本原理
將加熱電極置于被測覆層表面，從覆層表面沿覆層厚度方向
到基體，由于熱傳導而產生一定的溫度差，這溫度差與覆層厚
度、電極面積以及覆層和基體的導熱性能有關。
石英振蕩法沉積層厚度測量
石英振蕩法用于真空鍍膜中的鍍膜厚度測量和控制。在真空
鍍膜過程中，將一片石英和被鍍制品同時置于真空沉積裝置中，
利用石英晶片沉膜層厚度的不同對振蕩頻率的改變，從而達到鍍
膜厚度測量和厚度控制的目的．
當石英晶片兩極加一電場，晶片會產生機械變形；相反，若
在晶片上施加機械壓力，則在晶片相應的方向上產生一定的電
場，這種物理現象就是壓電效應。當石英晶片兩極加上交變電壓
的頻率與其固有頻率一致時，將會產生諧振現象．若將石英晶片
兩極接在振蕩電路中，石英片在諧振條件下的振蕩振幅會突然增
大，在這種條件下，振蕩器將產生振蕩輸出。利用石英晶片的這
種特性可以實現鍍膜的厚度測量和控制。
石英晶片壓電效應的固有頻率與其幾何尺寸和切割方式有
關．當晶片上鍍有某種膜層，將使晶片厚度增加，其固有頻率會
相應降低．
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