本文標(biāo)題："各種金屬、合金微量粗糙度輪廓測量多功能顯微鏡"
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各種金屬、合金微量表面粗糙度儀輪廓測量多功能顯微鏡
表面凈化后，自然就不存在污染及其影響，但這種剛凈化過
的新表面，其物理結(jié)構(gòu)與特征對(duì)下道工序產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響， 與表
面物理結(jié)構(gòu)有關(guān)的其它問題以后再闡述。 現(xiàn)在先討論半導(dǎo)體表
面，然后討論制造器件用的其它材料，例如金屬、合金、陶瓷和
玻璃，
首先把半導(dǎo)體材料錠鋸成片，然后研磨、拋光到預(yù)定的厚度
。但這樣處理會(huì)產(chǎn)生被損傷的表面材料層，其性質(zhì)與原材料大不
相同。 因此，要用化學(xué)蝕刻去掉一定深度的表層，以便消除機(jī)
械損傷
雖然表面經(jīng)過如此制備，而單晶依然有不少缺陷，所以，
蝕刻工序是不完整的。 表面不是原子級(jí)光滑向，而
是有一定微量粗糙度，從而影響外延沉積層的完整性。實(shí)踐證明
：半導(dǎo)體的不同晶面(其它材料也一樣)會(huì)呈現(xiàn)不同的蝕刻速度與
氧化速度
此外，蝕刻法易使表面污染到原來的程度。 這種雜質(zhì)和表
面缺陷在半導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生巨大的電效應(yīng)。 關(guān)于這些電效應(yīng)的詳細(xì)
敘述j可查閱參考文獻(xiàn)。 ．
金屬與陶瓷
各種金屬、合金、玻璃和陶瓷都可用作密封硬件或電子器件
的支承構(gòu)造，為此，常用濺射或蒸發(fā)金屬膜或鍍金。
為了得到一定表面光潔度而進(jìn)行過拋光的許多陶瓷材料，
已發(fā)現(xiàn)它們都保留著大量殘存的細(xì)小陶瓷粉末、 實(shí)驗(yàn)表明，造
成金屬膜粘附性不好，在任一凈化與超聲能加工前應(yīng)該除掉粉末
，
如果要在表面蒸發(fā)一層薄的金屬膜，那么，表面粗糙度就是
一項(xiàng)限重要的性質(zhì)。 在個(gè)別情況下，由于遮蔽作用大粗糙度足
以使薄膜產(chǎn)生孔洞。另一方面，由于“鍵控”作用，一定的粗糙
度反而能仗沉積膜得到額外的附著力。 在某些材料內(nèi)還看到了
微裂，這是與以后性質(zhì)不好直接有關(guān)的。利用集結(jié)在這些缺陷處
的熒光染料一般都能發(fā)現(xiàn)上述情況。
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