本文標題："光學、機械輪廓儀-高精度粗糙度測量儀"
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光學、機械輪廓儀-高精度粗糙度測量儀
由于表面粗糙度對光學、機械、電子性能的重要影響，導致了表
面粗糙度評價和測量的各種技術極大發展。通常以光學表面粗糙度
的測量技術可以分為兩大類：一類是直接測量表面輪廓，并從表面
輪廓測量中獲得表面特性的統計參數。例如械械觸針或輪廓儀法，
光學輪廓儀及光學外差輪廓儀法。另一類是測量表面的統計參數，
而并不是到輪廓。這種技術目前有光散射法、激光散斑法等。
表面粗糙度的基本表示法
通常的工程是經過各種加工處理的，它們的表面結構很復雜。
例如經磨削加工的機械零件，其表面具有明顯、規劃、周期性紋路
。但有些加工處理的零件表面可能是向各向同性的；即沿各個方向
測量得到的結果是相同或類似的，而它的結構卻是隨機的。對大部
分工程來說，它們的表面顯微結構是各向異性，而且是周期和隨機
特性二者的綜合。為了對表面形貌作定量的研究，發展了若干統計
參數和函數來表示表面的粗糙度特性。這些統計參數表征了表面形
貌的兩個基本方面；即表面的高度起伏（振幅）和這些起伏之間的
縱向間隔（有時稱作波長）。
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